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光驰半导体废气处理项目
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项目背景

光驰半导体技术（上海）有限公司（以下简称：光驰半导体）由光驰集团（以株式会社光驰为母公司的跨国集团上市代码：6235 东证一部）名下的光驰科技（上海）有限公司投资设立，成立于 2021年9月总投资额5.48亿元。

公司以半导体前沿的 ALD （原子层镀膜）与 ETCHING （刻蚀）技术为依托，通过持续的技术创新和市场开拓，拟在微显示、化合物半导体、晶圆级光学、图像传感器等半导体或泛半导体领域实现镀膜技术的应用与扩大销售。

泛半导体行业主要包括光电显示器件、集成电路制造，其核心生产工艺中会产生各类成分复杂的废气，对废气治理的技术实力提出了较大的挑战。针对这些难处理的特征污染物，羿清环保自研发贵金属耦合催化剂，助力长鑫存储、日益和等半导体企业废气治理成功验收达标。

项目介绍
废气来源
半导体车间
废气风量
35,000m³/h
废气成分
硫酸雾、HCL、磷酸雾、氮氧化物
项目地点
上海市宝山区
羿清方案
设计工艺
YQWT二级喷淋碱洗塔设备
羿清环保通过技术部前期的现场勘察，结合考量锂电池PACK车间（动力电池加工、组装）过程中的废气成分，采用羿清环保自研的YQWT二级喷淋碱洗塔设备，有效助力光驰半导体废气治理。
方案介绍
工艺流程:
收集管道+YQWT二级喷淋碱洗塔设备+离心风机+烟囱高空排放
密闭加盖:
无
管道收集:
有
工艺处理:
YQWT二级喷淋碱洗塔设备
废气排放:
烟囱高空排放，高度15m
项目现场
客户背景
半导体光学技术的头部企业
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系统调试验收
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